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| Inquiry | Description | Model | 應用範圍 | 施作範圍 |
| 氣體加熱系統 | 直入式HN2 | 1.Pump 到 Local scrubber / 2.有包覆加熱帶，但會常常塞管的管路 | Bulk gas 流量≦ 250 SLM / 氣體加熱溫度≦250℃ | |
| 管路加熱系統 | 溫控器 | 需要控溫的加熱器 | 真空管路加熱帶 / 氣體管路加熱帶 / 氣體加熱器 | |
| 管路加熱系統 | 氣體管路加熱帶 | 1.氣體鋼瓶到盤面的金屬氣管 / 2.盤面内部金屬氣管及閥件 / 3.機臺内部金屬氣管 | 1/2 英寸到1 英寸直徑的金屬氣體管路 / 0℃ ≦ 設定溫度 ≦ 200℃ . | |
| 管路加熱系統 | 真空管路加熱帶 | 1. Chamber 到 pump / 2. Pump 到 local scrubber / 3. 機臺内部管路. | 1. 1 英寸到10 英寸直徑的真空管路 / 2. 0℃ ≦ 設定溫度 ≦ 230℃ . |
