加熱帶系統
加熱器

氣體加熱系統

1. 電源: 110/220V, 50/60Hz, 單相
2. 功率: 500~3000W (依客戶的需求設計)
3. 溫控器: PID控制
4. 精準度: ± 10 ℃
5. 材質 : SUS 304
6. 設定溫度: 室溫 ~ 250 ℃
以加熱的高溫氣體直接吹入真空管路中來加熱製程反應物,用來解決已經包覆了加熱帶,但還是常常會有粉塵堵塞塞管的問題。可以有效延長機臺的保養周期,提升機臺的使用率。
Description 氣體加熱系統
應用範圍 1.Pump 到 Local scrubber / 2.有包覆加熱帶,但會常常塞管的管路
施作範圍 Bulk gas 流量≦ 250 SLM / 氣體加熱溫度≦250℃
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