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| Inquiry | Description | Model | 应用范围 | 可施作范围 |
| 管路加热系统 | 真空管路加热带 | 1. Chamber 到 pump 2. Pump 到 local scrubber 3. 机台内部管路. | 1. 1 英寸到10 英寸直径的真空管路 2. 0℃ ≦ 设定温度 ≦ 230℃ . | |
| 管路加热系统 | 气体管路加热带 | 1.气体钢瓶到盘面的金属气管 2.盘面内部金属气管及阀件 3.机台内部金属气管 | 1. 1/2 英寸到1 英寸直径的金属气体管路 2. 0℃ ≦ 设定温度 ≦ 200℃ . | |
| 管路加热系统 | 温控器 | 需要控温的加热器 | 1.真空管路加热带 2.气体管路加热带 3.气体加热器 | |
| 气体加热系统 | 直入式HN2 | 1.Pump 到 Local scrubber 2.有包覆加热带，但还是会常常塞管的管路 | 1.Bulk gas 流量≦ 250 SLM 2.气体加热温度≦250℃ |
