加热带系统
加热器
气体加热系统
商品编号：直入式HN2
1. 电源: 110/220V, 50/60Hz, 单相
2. 功率: 500~3000W (依客户的需求设计)
3. 温控器: PID控制
4. 精准度: ± 10 ℃
5. 材质 : SUS 304
6. 设定温度: 室温 ~ 250 ℃
2. 功率: 500~3000W (依客户的需求设计)
3. 温控器: PID控制
4. 精准度: ± 10 ℃
5. 材质 : SUS 304
6. 设定温度: 室温 ~ 250 ℃
以加热的高温气体直接吹入真空管路中来加热制程反应物，用来解决已经包覆了加热带，但还是常常会有粉尘堵塞塞管的问题。可以有效延长机台的保养周期，提升机台的使用率。
| Description | 气体加热系统 | |
|---|---|---|
| 应用范围 | 1.Pump 到 Local scrubber 2.有包覆加热带，但还是会常常塞管的管路 | |
| 可施作范围 | 1.Bulk gas 流量≦ 250 SLM 2.气体加热温度≦250℃ | |
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